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贴合加工:作为贴合加工之开拓者的独家技术,得到客户的高评价。
Techno Fine的贴合技术可对应任何种类的靶材与各种的材料。近几年比其他公司早一步开发超过2公尺四方形超大型靶材的贴合加工。





贴合作业的程序






客户咨询
采购咨询














靶材与靶座(Backing Plate)的制作或提供














前段加工
贴合工程
检查
真空包装














捆包
出货






此外,本公司可提供如下服务:
使用后靶材的回收
再贴合等技术支援
靶座(Backing plate)、货物柜等靶材附件制品的制作





第5-7代大型靶材的贴合加工

Techno Fine研发了免靶材背面的金属膜处理(metallize)的独家贴合技术。

TargetTarget断面

特点:
()研发了大気中的一貫贴合工程以及完成节约了工程手续。
(
)由于不必使用金属膜处时使用的真空设备,因此大幅度的实现了低成本设备。
(
)对应任何种类、尺寸的靶材完成高品位的贴合及低成本。





配合各式各样的材料(低融点、高融点的金属系)以及树脂系接合材料的接合(举例如下)

○静电下电(Electrostatic chuck)
真空设备材料
有机/无机化合物的接合等


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