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靶材产品:支撑高度情报化社会之核心的薄膜技术为更加强高科技化担负极其重要的任务。

Techno Fine为配合客户的要求可提供从蒸着材料的提案、试制,到制作、实验成膜评估为止的全面敏捷支援服务。





Techno Fine以独家的技术知识来配合客户的要求而提供的靶材产品之一部分,介绍如下。
 

对应DC溅镀的Hi-Rate导电性陶瓷靶材
可使用於各式用途的Hi-Rate光学膜材料
 (高中低屈折率材料)
高纯度SiC导电性靶材
瓦斯Barrier膜用陶瓷材料
涂上各种陶瓷材料的电极材料
SiO2-Al2O3大型陶瓷材料
高純度大口径Al2O3靶材、素材
低融点靶材(Techno Fine贴合加工技术的成果)
此外,配合客户的要求、予算以及适合希望交期的各种靶材。

想了解关于规格等的详细内容→联络我们

 

全面支援服务的例子






客户咨询













靶材的提案制作及制作靶座
(Backing Plate)














贴合加工













使用本公司
成膜机台测验
成膜评估














批量生产
的决定







本公司可随时应答使用后的靶材再贴合等技术支援以及对靶材的要求。









其它种类靶材

FPD用途

半导体用途

纪录体用途
(光/光
磁气纪录)


其它

  Al(3N~5N),
  Al alloy
 Cr(3N~3N5)
 In2O3系
 Mo(3N,4N) Mo
合金
 Ta(3N,4N)
 Ti(3N~6N)
 W(3N,4N)
 ZnO系

  Mo(5N)
 W(5N)
 Ti-W(5N)
 Ti(5N)
 Cr(3N.4N)
 Al(5N)
 Al alloy(5N)

  Ag alloy (3N,4N)
 Al alloy (3N~5N)
 Si, SiC, 各
种陶瓷
 Fe-Co (3N)
  C (3N~6N),
  Cr(3N,4N)
 Ni alloy (3N,4N)
 Ti,Ta,各
种陶瓷
  Cu

 Cr (3N,4N),
 Ti (3N~5N)
 SiO2(4N)
 AlN(3N)
 SiN系
 Ni系

本公司可随时应答关于其他靶材、蒸着材料




 
关于产品的内容及问题→联络我们
技术询问处:Techno Fine Co.,Ltd. 业务部/TEL: +81-44-986-7041FAX: +81-44-986-7042
邮编215-0033 神奈川县川崎市麻生区栗木2-6-1


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