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貼合加工:作為貼合加工之開拓者的獨家技術,得到客戶的高評價。
Techno Fine的貼合技術可對應任何種類的靶材與各種的材料。近幾年比其他公司早一步開發超過2公尺四方形超大型靶材的貼合加工。




貼合作業的程序






客户諮詢
採購諮詢














靶材與靶座(Backing Plate)的製作或提供














前段加工
貼合工程
檢查
真空包裝














捆包
出貨






此外,本公司可提供如下服務:
使用后靶材的回收
再貼合等技術支援
靶座(Backing plate)、貨物柜等靶材附件製品的製作





第5-7代大型靶材的貼合加工

Techno Fine發了免靶材背面的金屬膜處理(metallize)的獨家貼合技術。

TargetTarget斷面

特點
(
)研發了大氣中的一貫貼合工程以及完成節約了工程手續。
(
)由於不必使用金屬膜處時使用的真空設備,因此大幅度的實現了低成本設備。
(
)對應任何種類、尺吋的靶材完成高品位的貼合及低成本。





配合各式各樣材料〈低融點、高融點的金屬系〉以及樹脂系接合材料的接合〈舉例如下〉

○靜電下電極(Electrostatic chuck)
真空設備材料
有機 / 無機化合物的接合等
 

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