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靶材產品:支撐高度情報化社會之核心的薄膜技術為更加強高科技化擔負極其重要的任務。

Techno Fine為配合客戶的要求可提供從蒸著材料的提案、試製,到製作、實驗成膜評估為止的全面敏捷支援服務。





Techno Fine以獨家的技術知識配合客户的要求而提供的靶材產品之一部分,介紹如下。

DC濺Hi-Rate導電性陶瓷靶材
可使用於各式用途Hi-Rate膜材料
 (高中低屈折率材料)
SiC導性靶材
Barrier用陶瓷材料
塗上各陶瓷材料的電極材料
SiO2-Al2O3大型陶瓷材料
高純度大口径Al2O3、素材
低融點(Techno Fine貼合加工成果)
此外,配合客户的要求、預算以及適合希望交期的各靶材。

瞭解關於規格等的詳細內容→聯絡我們

 

全面支援服務的例子






客戶諮詢













靶材的提案製作製作靶座
(Backing Plate)














貼合加工













使用本公司
成膜機台測驗
成膜、評估














批量生
決定







本公司可隨時應答使用后的靶材貼合技術支援
以及對靶材的要求。









其他種類靶材

FPD用途
半導體用途
紀錄體用途
(光 / 光磁
氣紀錄等)


其他

 Al(3N∼5N),
 Al alloy
 Cr(3N∼3N5)
 In2O3系
 Mo(3N,4N) Mo

 Ta(3N,4N)
 Ti(3N∼6N)
 W(3N,4N)
 ZnO系

 Mo(5N)
 W(5N)
 Ti-W(5N)
 Ti(5N)
 Cr(3N.4N)
 Al(5N)
 Al alloy(5N)

 Ag alloy (3N,4N)
 Al alloy (3N∼5N)
 Si, SiC, 各種
陶瓷
 Fe-Co (3N)
 C (3N∼6N),
 Cr(3N,4N)
 Ni alloy (3N,4N)
 Ti,Ta,各種
陶瓷
 Cu

 Cr (3N,4N),
 Ti (3N∼5N)
 SiO2(4N)
 AlN(3N)
 SiN系
 Ni系

本公司可隨時應答關於其他靶材
、蒸 著材料



關於產品的內容及問題
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